技术编号:1858385
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。辅助多线切割机切割单晶硅棒的固定装置本实用新型属于切割单晶硅棒领域,尤其属于一种与多线切割机匹配使用,用于固定单晶硅棒,辅助多线切割机将单晶硅棒切割成硅单晶片的装置。背景技术采用多线切割单晶硅棒获得硅单晶片工艺时,多线切割机需借助一固定单晶硅棒的辅助装置。所述装置由一粘接条和一粘接板构成,粘接条为一块非金属材料制成的平面板,其上平面用于粘接单晶硅棒,底平面用胶粘接固定在粘接板上。粘接板紧固在切割机的工作平台上,实现单晶硅棒的切割定位。该装置在实践中存在如下...
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