技术编号:1859955
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及多晶硅制造设备,特别涉及一种石墨件腐蚀清洗机。 背景技术多晶硅是制备半导体器件和太阳能电池的原材料,是全球电子工业及光伏产业的基石。多晶硅按照纯度和用途可分为太阳能级多晶硅和电子级多晶硅。在运行还原炉生产多晶硅之前,首先要将石墨件(由石墨底座和石墨卡瓣组成,是在还原炉中装载硅芯的载体)安装在还原炉的底盘上,然后将硅芯固定在石墨件上。所以说石墨件是生产多晶硅的必需品。在生产出完整的多晶硅之后,安装在还原炉上的石墨件会被硅包裹住以至于无法再次利用...
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