技术编号：18618873
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种末端执行器装置。尤其涉及一种能够针对每1片衬底检测上下空出间隔配置的多片衬底的存在的末端执行器装置。背景技术例如，在半导体制造工序中，有从收纳薄圆板状的半导体晶片的晶片传送盒将半导体晶片沿水平方向搬出，并将所述半导体晶片搬送到进行特定的处理的处理装置的工序。对半导体晶片的搬出，使用设置在机器人臂的前端部的手部。从所述晶片传送盒使用手部搬出半导体晶片时，有将半导体晶片搬出而受损的可能性。这样一来，不能准确地处理特定片数的半导体晶片。因此，提出一种在手部设置检测半导体晶片的存在的传感器...
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