技术编号:1863563
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用于坩埚喷涂加热旋转台的硅胶垫加热板。 背景技术太阳能铸锭坩埚装料前需喷涂氮化硅以隔离石英坩埚与硅液。在喷涂过程中需加热石英坩埚,使氮化硅液均勻的吸附在坩埚表面,形成粉状涂层。现有的坩埚加热旋转台的每块侧板都是由两块不锈钢板构成,两块不锈钢板把加热板夹在中间。加热板的结构是用石棉包裹着加热元件如加热丝,加热丝两侧再由钢板压紧,整个结构没有弹性。现有的坩埚加热旋转台的问题是因为坩埚的形状不规则,加热板没有弹性,导致各个加热板接触紧固程度不一...
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