技术编号：18699667
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种驱动器件设计技术领域，具体地，涉及一种薄膜驱动结构、薄膜驱动结构的制造方法及喷墨装置。背景技术目前业界常用的实现薄膜驱动结构的方法有两种：1、采用封装贴膜实现的结构及方法如图1所示，通过光刻的方式在基底上形成压力腔的外形及流体通道，再将通过旋涂、固化、剥离得到的聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜通过封装的方式粘贴到压力腔腔体的顶部。其中压力腔墙体与流体通道为同一种材料，且悬空薄膜全部覆盖在压力腔墙体的顶部。此项技术的缺点是：(1)聚二甲基硅氧烷(PDMS)薄膜厚度不能太小(＞100um...
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