技术编号:18701342
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及晶片检测领域,具体涉及一种高基频石英MASE晶片检测装置。背景技术在消费电子、汽车电子、物联网等行发展过程中,晶振作为电子产品基础性核心元器件,向超小型化、超高频、低抖动、低相位噪声方向发展,基于半导体工艺小尺寸高基频MASE晶片,有外形尺寸小2mm以下,双面采用腐蚀加工成凹型结构,凹型区为压电效应振荡区,厚度越薄振荡的频率越高,50MHz以上产品,压电效应振荡区厚度在30微米以下,100MHz以上产品压电效应振荡区厚度小于16微米。传统的机械加工工艺难以满足工艺要求,采用半导体光刻微...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。