技术编号：18702351
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种制作衍射光学器件的方法，尤其是指一种利用超快激光双光子聚合制作衍射光学器件的方法。背景技术衍射光学元件是基于光波的衍射理论设计的，它是指表面带有阶梯状衍射结构的光学元件。衍射光学元件的制作方法很多，最初的、标准的衍射元件制作方法是由二元模板经多次图形转印、套刻形成台阶式浮雕表面的；第二类是新兴的直写法，无须利用掩膜板，仅通过改变曝光强度直接在元件表面形成连续浮雕轮廓，主要包括激光束直写和电子束直写；第三类灰阶掩模图形转印法，所用掩膜板透射率分布是多层次的，经一次图形转印即形成连续或...
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