技术编号:18706490
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄石墨层作为透明基底用于纳米线(NW)生长的用途,所述纳米线可以形成为诸如竖向腔表面发射激光器(VCSEL)或谐振腔发光二极管(RCLED)之类的装置。特别地,本发明涉及III-V族半导体NW在包括合适掺杂的石墨基底上的用途,并且本发明可以包括量子异质结构如量子阱、量子点或超晶格,这些量子异质结构定位在两个分布式布拉格反射器或金属镜之间以允许形成VCSEL或RCLED。背景技术近年来,随着纳米技术成为重要的工程学科,对半导体纳米晶体(比如NW)的兴趣不断增强。也称为纳米晶须、纳米棒、纳...
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