声表面波装置的制作方法技术资料下载

技术编号:18706595

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本发明涉及声表面波装置,更特定地,涉及用于将声表面波装置小型化的技术。背景技术在便携式电话或者智能电话等的电子设备中,使用利用了声表面波(SAW:Surface Acoustic Wave)谐振器的声表面波滤波器。近年来,伴随着这些电子设备的小型化以及高性能化,要求所使用的电子部件的小型化、高密度化,在声表面波谐振器中也期望小型化。一般来说,声表面波谐振器设为在压电性基板上配置许多的梳齿状电极(IDT:Inter Digital Transducer,叉指换能器)的结构,因此在声表面波谐振器的小...
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