技术编号:1871260
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种玻璃镀膜用反应器,具体涉及一种适用于大尺寸玻璃基板的玻璃镀膜用反应器。背景技术玻璃镀膜,尤其是在大尺寸玻璃基板上镀膜,常用的工艺是化学气相沉积,这一工艺的难点是对镀膜均勻性的控制,膜层厚度的不均勻,或是薄膜化学性质的不均勻,都会导致镀膜玻璃光学、电学等性能指标的降低。要得到均勻的镀层,必须使镀膜前驱物在整个基板宽度方向上进气、排气以及温度分布都是均勻的。为了在大尺寸基板上均勻成膜,有很多的方法被采用,1.采取在气体通道内设置许多连续的挡板...
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