封装基板及光芯片封装结构的制作方法技术资料下载

技术编号:18714263

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本实用新型涉及半导体技术领域,具体涉及一种封装基板及光芯片封装结构。背景技术在硅光和光电集成系统中,采用单模激光或高速探测器进行长距离、高带宽、高质量信号传输时,需要实现芯片内的光信号与光纤的耦合连接,光芯片的光斑或感光面很小,在10um以内,甚至只有2-3um,单模光纤的芯径为8-10um,两者尺寸相差较大,模场严重失配,因此对。通常只能通过有源对准的方式,即通过点亮芯片,探测光功率的大小,调节光纤位置,并在功率最大时固定光纤位置。这种方式需要将芯片点亮,且难对准,在多通道同时耦合时,就更难对...
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