技术编号:18727391
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域,特别是涉及一种籽晶夹持装置。背景技术为了确保单晶硅棒的品质,单晶硅棒的生产是在密闭且充满惰性气体的单晶炉内进行,其拉晶工艺包括引晶、放肩、转肩、等径、收尾和停炉。其中,引晶是拉晶工艺中较为关键的一步,单晶的生长过程中需要籽晶(也叫晶种)配合。具体方法为:引晶开始前由夹头夹持籽晶缓慢下降至熔硅液面上方,待籽晶温度接近熔硅温度时,再次下降籽晶与熔硅液接触,通常称此过程为“下种”;“下种”后籽晶与熔硅进行熔接,待液面温度达到单晶生长要求时即可控制液面温度和籽晶的提...
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