技术编号:18728089
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请属于激光加工技术领域,公开了一种激光加工间距调整结构。背景技术在晶元精密加工领域,随着激光加工技术越来越成熟,对效率要求也越来越高的背景下,如何进一步有效、大幅度地提高激光加工效率,是很值得研究的问题。目前晶元加工都采用单轨加工的方式,即单束激光束进行加工的方式,且加工技术已经很成熟,想要进一步提升效率,只有依赖提升加工速度,而且考虑到工艺效果、精密平台的运动性能,也不可能大幅度改变加工速度,想要进一步提升效率已经几乎不可能。在新研发的多轨道激光加工中,涉及到调整激光束的间距调整问题。实用...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。