技术编号：18729302
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及脉搏传感器技术领域，尤其涉及一种MEMS压力传感器封装结构及封装方法。背景技术随着社会经济的发展和人民生活水平的提高，人体健康监护越来越受到人们的关注。随着近年来传感器科学与技术的进步以及健康监护设备对压力传感器的特殊需求，市场上出现了越来越多种的脉搏传感器的结构设计。这些传感器体积小，结构稳定，可以持续监测人体健康状态，为人民提供最及时的健康预警服务。微机电系统(Micro-Electro-Mechnical-System，MEMS)压力传感器一般包括支撑梁或支撑薄膜结构，其传感器原...
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