技术编号:1873379
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。废砂浆收集系统本实用新型涉及一种废砂浆收集系统,特别涉及到一种用于收集切割硅片后产生的废砂浆的废砂浆收集系统。背景技术硅片切割中产生的废物由液体部分和固体部分混合构成。它是一种成分不固定的 灰黑色液体、浆状或固体物质,一般称作“废切割液”、“废砂浆”、“废硅粉”。主要成分有金刚砂、聚乙二醇、金属硅粉、水分、金属颗粒、树脂条以及少量表面活性剂。通常液体成分小于20%时呈灰黑色或浅灰色泥块,用袋或包盛装;液体成分在20% -30%时呈灰黑色浆状,可以用包盛装;...
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