技术编号:18734664
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光电子/微电子器件领域,更具体地说是一种基于低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramic,LTCC)的光电集成封装结构。背景技术对于高速激光器芯片,其正常工作需要同时加载直流信号和高频信号。同时,为了便于调整,往往需要将直流路径和高频路径分开。在阵列集成中,传统的陶瓷薄膜电路由于只能进行单层设计,所以当设计卡槽结构或过孔时,只能贯穿整个板子,无法进行非穿透式的异形结构设计;对于双层结构,只能在层与层之间用垫块进行支撑,很明显,这种方式的可靠性是比较低,...
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