放射线检测器的制作方法技术资料下载

技术编号:18734865

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本发明的实施方式涉及一种放射线检测器。背景技术放射线检测器的一个例子包括X射线检测器。在X射线检测器中例如设有:将入射的X射线转换为荧光的闪烁体;设有多个将来自闪烁体的荧光转换为信号电荷的光电转换部(对应于X射线图像的像素)的阵列基板;对多个光电转换部分别读取信号电荷的信号处理电路;以及基于读取出的信号电荷构成X射线图像的图像构成电路。此外,光电转换部中设置有将荧光转换为信号电荷的光电转换元件;对信号电荷的存储和释放进行切换的薄膜晶体管;以及存储信号电荷的存储电容器等。一般,X射线检测器如下述那...
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