技术编号:1874219
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种蚀刻设备的反应槽装置的上电极,包含一个电极板体,以及一个陶瓷熔射膜。该电极板体包括一个本体层、一个设置在该本体层上的缓冲层,以及数个上下贯穿该本体层与该缓冲层的通气孔。通过该缓冲层缓冲该本体层与该陶瓷熔射膜的热膨胀系数的差值,且该缓冲层与该陶瓷熔射膜间具有良好的结合力,因此两者间可紧密地结合而不易剥落。同时该缓冲层与该陶瓷熔射膜都具有抗腐蚀功效,以提供该本体层双重保护,所以该电极板体可重复使用,并能降低设备成本。专利说明蚀刻设备的反应槽装置的上电极[0...
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