技术编号:18745173
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜晶体管、具备其的薄膜晶体管基板以及液晶显示装置和薄膜晶体管的制造方法。背景技术作为一般的薄型面板之一的液晶显示装置(Liquid Crystal Display:LCD)活用低功耗、小型轻量这样的优点,广泛使用于个人计算机、便携信息终端的监视器等。近年来,液晶显示装置还被广泛使用于TV的监视器等。特别地,众所周知将薄膜晶体管(Thin Film Transistor:TFT)用作开关元件的有源矩阵基板(以下称为“TFT基板”)被利用于LCD等电光学装置。在使用TFT基板的LCD(以...
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