技术编号:18748188
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及金刚石薄膜制备技术领域,尤其涉及一种热丝固定装置及金刚石薄膜生长设备。背景技术热丝气相沉积法制备金刚石薄膜的基本原理如下:具有金刚石分子结构的碳源(如:甲烷和丙酮等)和氢气组成的混合气体通过金属热丝,在热丝形成的高温场中分解出甲基和氢原子,并且,在一定的腔内压力下,大量的甲基与温度合适的衬底表面作用及甲基之间的复合反应,使得高温场内生成杂化的碳氢基团,这些碳氢基团在衬底表面沉积,从而在衬底表面形成金刚石薄膜。为了得到品质良好的金刚石薄膜,通常需要合适的温度及稳定的温度场,而影响温度场的...
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