技术编号:1876210
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的课题在于,提供一种能够安全地实现高品质的化学研磨处理的玻璃基板的化学研磨装置。其解决手段为,本发明的化学研磨装置具有输送通路,其沿水平方向输送玻璃基板(GL);研磨处理部(16)、(22),其对在输送通路移动中的玻璃基板喷射化学研磨液而对玻璃基板进行薄型化;洗涤处理部(24),其对经过研磨处理部(22)而被薄型化了的玻璃基板喷射洗涤液进行洗涤,其中,在向研磨处理部(16)导入玻璃基板的导入部设置有旋转滚轮(43),其轻轻地保持玻璃基板的表面并进行旋...
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