技术编号：1877145
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种线性闭锁阀，属于玻璃真空镀膜。该线性闭锁阀，用于玻璃镀真空膜溅射腔室，包括壳体、提升机构和门板，所述门板位于所述壳体中，且与所述壳体外的提升机构连接，所述两块门板之间安装有超薄气缸，所述提升机构可带动所述门板移动，所述超薄气缸可推动所述门板紧靠所述壳体内壁，将所述两个溅射腔室从接口处隔离。本发明通过提升机构带动门板，并有门板间的超薄气缸推动门板紧靠壳体内壁，将溅射室隔离，保证了溅射室维修时不用全部通入空气，方便维修，提高了效率。专利说明一种...
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