技术编号:1877827
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了,该方法首先在石英片表面蒸发一金属掩蔽层,然后采用反应离子蚀刻机对石英片表面进行刻蚀,得到表面粗糙的石英片,实现石英片表面刻蚀粗糙度的增加。本发明提供的增加石英片表面刻蚀粗糙度的方法,实验的操作和控制简单、方便,成本低,有效地增加了石英片表面刻蚀粗糙度。专利说明 [0001]本发明涉及微细加工工艺,更具体的说,涉及。 背景技术 [0002]石英玻璃片,通常由石英玻璃切割磨制而成,其二氧化硅含量可达99.99%以上。硬度为莫式七级,具有...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。