技术编号：18796951
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微机械结构。背景技术从US 2010/0295138A1和US 2005/0095813A1中公开了微机械的（MEMS）结构，其采用CMOS层用于实现微机械功能。US 2011/0265574 A1公开了一种用于将MEMS功能后端集成到CMOS电路上的过程。发明内容本发明提出了一种微机械结构，具有：衬底，所述衬底具有一上侧面；在所述衬底中在所述上侧面上通过蚀刻所述衬底而结构化出的可动的微机械的功能结构；以及在所述衬底的上侧面上方构造的印制导线系统；其中，所述印制导线系统具有至少两个...
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