技术编号:18813353
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜制造技术领域,具体涉及一种激光射线同步检测的测厚装置。背景技术在薄膜生产过程中,为了控制薄膜的厚度,需要用到薄膜测厚仪来为其提供厚度数据。现有的测厚装置,测头无法精确反复定位,且框架机械精度差,导致测量结果误差大。其次单测头使用范围有限,适用范围小。发明内容本发明要解决的技术问题是提供一种适用范围更广的高精度激光射线同步测量一体机,一体同步测量,测量表面平行度和精度高,反复定位精度高,测量结果准确。为解决上述技术问题,本发明采取如下技术方案:一种高精度激光射线同步测量一体机,包括上...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。