光子传感器装置的制作方法技术资料下载

技术编号:18830906

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本发明涉及光子传感器装置,例如适用于稀疏光子事件的异步检测和测量的装置。背景技术电荷耦合器件(CCD)和互补金属氧化物半导体(CMOS)是两种类型的常用线传感器。两者都不能产生时间分辨的输出。存在一种竞争的单光子雪崩二极管(SPAD)阵列技术。已知各种光检测器中的SPAD包括点、线和2D成像阵列。基本的单SPAD接收器在被单个光子撞击时产生电子输出。这些单独的接收器通常与附加电路一起布置成阵列以形成像素设备,可以将其简称为像素。像素设备继而可以布置成线性链以形成线传感器,或者布置成2-D阵列以形...
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