技术编号:1883437
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种大直径、超长度高纯硅晶体切割方法及设备,工艺为先对高纯硅晶体通过吸振材料粘接后过度装夹;再通过数控自动编程软件系统对切割高纯硅晶体图形进行编排处理;然后通过电镀金刚石砂线主切削运动为垂直往复运动,辅助切削运动为自转运动对高纯硅晶体切削;设备包括电镀金刚石砂线、工作平台、摇臂、曲柄摇杆机构和石墨粘块;采用电镀金刚石砂线作为刀具,大大提高高纯硅晶体加工范围,尤其针对大直径、超长度的高纯硅晶体;使用电镀金刚石砂线参与切削面积小,材料利用率有效提高...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。