技术编号:1883687
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于一种脆性材料基板的分断用碎屑去除装置,具备沿脆性材料基板上的刻划线一边贴附黏着带材一边进行移动的黏贴装置、沿着借由该黏贴装置而贴附有该黏着带材的脆性材料基板上的刻划线一边进行加压一边对脆性材料基板进行分断的分断装置、以及将经由该分断装置分断的脆性材料基板上的黏着带材一边剥取一边进行回收的剥离装置。借由本发明,能够防止脆性材料基板分断时碎屑的飞散。专利说明脆性材料基板的分断用碎屑去除装置[0001]本发明关于一种脆性材料基板的分断用碎屑去除装置,...
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