技术编号：18855061
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于烧结炉技术领域，具体涉及1700℃微波高真空气氛烧结炉。背景技术烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备，烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结，为了保证粉末压坯在烧结过程中的脱蜡、还原、合金化、组织转变等顺利进行，烧结时需要对烧结温度、保护气氛、压坯传送方式、加热和冷却速度等进行精确的控制。然而现有的微波高真空气氛烧结炉在使用的过程中仍存在一些不足之处：现有的微波高真空气氛烧结炉在使用时，由于密封盖与燃烧室之间的连...
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