技术编号:18864697
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及平面电机技术领域,特别涉及一种多目标约束下平面电机的控制方法及终端设备。背景技术平面电机具有结构简单、安装方便、精度高、速度快、成本低、可靠性高等优点,在集成电路等精密制造领域极具应用前景。目前平面电机的高精度位置控制使其迫切需要解决的问题,特别是多维目标约束下的高精度位置控制是急需解决的关键技术。目前平面电机的位置控制方法主要包括:比例微分积分控制、鲁棒控制、自适应控制、迭代解耦前馈控制、滑模控制、数据驱动控制等,但仍未见平面电机模型预测控制方法的相关报道。发明内容鉴于现有技术的不足...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。