技术编号：18869438
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种通过局部外加应力调控微纳米级机电开关的方法，其属于微纳米器件领域。背景技术：随着微电子工艺的不断进步，单个芯片上的器件集成密度越来越高，在能够实现同样功能的前提下，微型化、小型化正逐渐成为硬件的发展趋势。因此微纳米级器件的研究已经成为目前的前沿和热点。为了满足器件微型化的发展需求，近些年来，许多与纳米相关的科学领域，如纳米医学、纳米生物、纳米电子学等等，都取得了许多重要的成果。微纳米器件在许多重要的科技领域，如通信领域、航空航天以及诸多材料领域都应用广泛。2009年，美国著名的《麻...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。