技术编号:18888564
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请要求于2017年2月22日提交的美国专利申请No.15/439,109的优先权。本公开通过主题涉及于2017年1月5日提交的美国专利申请No.15/399,244和2017年3月8日提交的美国专利申请No.15/452,976。上述申请的全部公开内容通过引用并入本文。技术领域本公开涉及衬底处理系统中的衬底支撑件的陶瓷层。背景技术这里提供的背景描述是为了总体呈现本公开的背景的目的。在此背景技术部分以及在提交申请时不能确定为现有技术的描述的各方面中描述的范围内的当前指定的发明人的工作既不明确也...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。