技术编号：18892350
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于加速度计领域，具体涉及一种基于旋转折叠梁和纳米光学谐振腔的面内加速度计及方法。背景技术目前微光学加速度计的测量原理通常是基于光的波动性，即通过加速度敏感结构将加速度转化为位移信号，然后利用光信号的干涉、衍射效应进行位移测量。但是基于光的波动性的位移测量受光波长的限制，无法突破光的衍射极限，因此位移和加速度的测量精度受到光波长的限制。虽然可以通过电子细分、调制解调等方式将位移测量精度提升至λ/100甚至更高从而实现μg级别的加速度测量精度，但是各种细分方式的引入也会增加加速度计的系统复杂...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。