技术编号：18892353
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微纳器件加工领域，具体涉及一种基于干法刻蚀制备固态纳米孔的方法及装置。背景技术人类基因的碱基序列蕴含着个体生老病死的全部遗传信息。通过基因测序技术实现人类遗传密码的精准破译，是21世纪生命科学的重点研究方向之一。作为第三代测序技术的主要方法之一，纳米孔测序技术具有高通量、低成本、免标记、无需扩征、读取长度长等特点，被认为是最有希望实现1000美元以下的下一代人类基因检测技术。在纳米孔测序技术的研究初期，科学家广泛采用生物纳米孔，如α-溶血素蛋白分子(Kasianowicz J J,Br...
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