一种模间干涉的电子散斑光谱仪的制作方法技术资料下载

技术编号:18896149

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本发明属于光谱测量仪器领域,涉及一种模间干涉的电子散斑光谱仪。背景技术光谱测量仪器被广泛应用在光纤传感器测量,激光测量等光学测量领域中。传统的光谱仪一般采用棱镜或光栅,对于棱镜色散型光谱仪,其色散能力与系统的有效孔径宽度和角色散率有关,但是单个棱镜的色散能力有限,常常需要采用棱镜组的方式实现,这导致了光谱仪体积较大;对于光栅型光谱仪,其分辨率由光栅周期来决定,狭缝越窄,分辨率越高,当狭缝很窄时,要求探测器的灵敏度很高,成本很高。微型光谱仪是光谱仪器中的一个重要分支,其研究的重点集中在系统的集成化...
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