一种光调制微纳结构、微集成光谱仪及光谱调制方法与流程技术资料下载

技术编号:18896162

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本发明涉及光谱设备技术领域,尤其涉及一种光调制微纳结构、微集成光谱仪及光谱调制方法。背景技术光谱仪是获得光谱信息的仪器。光谱携带的信息量丰富,可用于物质识别、检测和分析,在农业、生物、化学、天文、医疗、环境检测、半导体工业等领域得到广泛应用。根据工作原理,现有商用的光谱仪可分为两种:基于单色仪的和基于傅里叶变换的。具体为:基于单色仪原理是指通过光栅将不同波长的光在空间上分开,再用狭缝将不同波长的光滤出来,由光敏元件探测;基于傅里叶变换原理是指将光分成两束,经过不同光程后干涉,对干涉谱进行傅里叶变...
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