技术编号：18905028
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本发明的例示性实施例涉及用于浮起基板的工作台、包括其的基板处理装置及基板处理方法。更详细来讲，本发明的例示性实施例涉及能够防止将基板浮在用于浮起基板的工作台上部期间基板发生变形及/或损伤的用于浮起基板的工作台、包括所述用于浮起基板的工作台的基板处理装置及利用所述基板处理装置的基板处理方法。背景技术为了制造液晶显示装置、有机发光显示装置之类的显示装置而执行在基板上涂覆用于形成配向膜、滤色片、有机发光层等的药液的工程。这种在基板上涂覆药液的工程大体在将所述基板浮在工作台上部的状态下执行。例如...
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