技术编号：18905299
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及质谱仪技术领域，更具体地说，特别涉及一种微尺度飞行时间质谱仪。背景技术过去十年中，分析系统小型化发展较为迅速，突破传统的庞杂结构，使得新的设备和技术能够在现场进行环境勘探，深空探索或国土安全应用。随着微电子机械系统(MEMS)制造方法的不断发展完善，很多元件都向着更小的数量级发展。近年来，随着食品安全问题、空间探索活动的不断发展，突发事件、公共安全的迫切需求，微尺度质谱仪因其体积小、功耗低、价格低廉、使用方便等特点成为当前质谱仪领域的研究重点和热点。开发并设计新型微尺度质谱仪将促进其在...
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