一种基体表面凹凸程度的原位无损测量装置的制作方法技术资料下载

技术编号:18921722

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本实用新型涉及基体表面测量及表征技术领域,具体涉及一种基体表面凹凸程度的原位无损测量装置。背景技术多数设备材料在运行过程中存在磨损、腐蚀及腐蚀产物聚集现象,导致材料表面出现坑蚀或凸起等缺陷。目前针对基体表面微小凹凸程度的测量多数是通过切割基体材料进行局部取样,采用大型光学显微镜进行测量并表征;针对基体表面肉眼可见的凹凸缺陷,多数采用游标卡尺或标尺进行测量及表征。但是,采用上述方法存在以下缺点:1)通过对设备基体材料进行切割局部取样,采用大型光学显微镜测量并表征过程中对设备进行不可恢复的破坏,不利...
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