技术编号:18924630
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及VAD芯棒沉积装置的技术领域,特别是一种VAD芯棒沉积用燃烧器反应稳定性控制装置的技术领域。【背景技术】VAD芯棒沉积用原料主要是常温为液态的SiCl4及GeCl4,液态原料通过管路输送至蒸发箱中,液态原料在蒸发箱中汽化,汽化后的原料在蒸发箱中经过高温流量控制器控制并按一定的流量稳定地输送出蒸发箱。VAD芯棒沉积用载料气体主要是H2、O2、Ar、CF4等,一般一台VAD芯棒沉积设备需要用的载料气体路数大于等于16路,H2、O2、Ar、CF4等气体通过管路输送进气柜中,在气柜中分流,...
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