技术编号:18943175
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及使用真空气氛的真空装置,特别涉及能够在不发生基板的破裂、脱落的情况下在短时间内从真空气氛变化成大气压气氛的真空装置。背景技术为了在大气中和真空气氛中之间使基板移动而使用基板搬入搬出室,将基板配置于大气气氛的基板搬入搬出室,将基板搬入搬出室真空排气,使基板的周围呈真空气氛,将呈真空气氛的真空处理室和配置有基板的基板搬入搬出室连接。此外,将基板配置于置于真空气氛的基板搬入搬出室,向真空气氛中导入氮气、大气来使基板搬入搬出室为大气压,将基板搬入搬出室和大气气氛连接来将基板取出至大气气氛。图8...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。