技术编号：18943459
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微机电麦克风包括包含微机电系统(MEMS)的声学传感器和可以是专用集成电路(ASIC)的控制部件。声学传感器和控制部件安装在覆盖有形成内部腔室的盖子的基座上。声学传感器设置在基座或盖子的声音端口上方并且与控制部件电连接。US2016/0137486A1公开了一种具有声学传感器的微机电麦克风，该声学传感器包括基板、包含空气通道的背板、隔离层和张力膜。通过在制造过程中施加高温来产生张力。US 2017/0026729 A1公开了一种带有耦合到压力传感器的集成电路的微机电麦克风，该压力传感器是集成电路...
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