技术编号:18948708
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及臂类型坐标测量机,其通过探针测量被测主体。背景技术作为测量设备,使用例如让探针沿彼此垂直的三个轴线方向运动的三维测量设备,以测量安装在安装台上的被测主体的坐标等。日本未审查实用新型申请公开No.S50-22049中所述的三维测量设备是所谓的双柱类型测量设备,其包括分别沿X轴线方向。Y轴线方向和Z轴线方向运动的运动构件构成的运动机构,且使用运动机构让探针运动。然而,双柱类型的三维测量设备包括运动机构,其中连接多个运动构件,且由此具有用于测量主体的有限测量空间。因此,在可被测量的被测主体的...
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