技术编号:18949575
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及气体传感器的制备方法及装置,属于传感技术领域。背景技术气体传感器是MEMS(Microelectro Mechanical Systems,微机系统)传感技术领域的重要组成部分,在低功耗、小尺寸和低成本约束条件下,实现对目标气体的高度灵敏性和长期使用的稳定性是MEMS气体传感器的重要技术研究与发展方向。现有提高MEMS气体传感器灵敏度的主要方案包括:1、提高工作温度,2、对气体进样进行富集,3、提高对微弱检测信号的放大能力。提高工作温度的方案可提高气敏结构(材料)对目标气体的化学活性,...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。