技术编号:18949576
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及一种MEMS气体传感器和提高MEMS气体传感器稳定性的方法,属于传感器技术领域。背景技术气体传感器是MEMS(Microelectro Mechanical Systems,微机系统)传感技术领域的重要组成部分,在低功耗、小尺寸和低成本约束条件下,实现对目标气体的高度灵敏性和长期使用的稳定性是MEMS气体传感器的重要技术研究与发展方向。现有提高MEMS气体传感器长期稳定性的主要方案包括:1、提高敏感材料自身的稳定性,2、对气体传感器的工作环境进行控制。提高敏感材料自身的稳定性对于器件级...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。