技术编号：18949816
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微流道的设计与加工，尤其是涉及一种亲疏水性可控的微流道加工方法。背景技术随着微机电系统(Micro-electro-mechanical System，MEMS)技术的迅猛发展，诸如微流道散热器、微泵、微阀、微混合器、微喷嘴、微生物芯片等微流体器件的应用越来越广泛。在这些器件中，微流道是介质输运的基础，各种功能部件之间均由它连接。与宏观流动系统不同，随着特征尺度的减小，表面效应成为影响微流体系统性能的主要因素。微流控产品发展中对更高加工精度、更复杂结构和更低价格的不断追求也对加工工艺的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。