技术编号:1899639
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明微量元素复合掺杂改性氧化锡锑陶瓷靶材的制备方法是先称取氧化锑质量百分含量为0.1~1.0%的ATO粉体,然后按ATO粉体总质量的0.5~1.0%分别称取氧化锰和氧化铜粉体作为复合掺杂改性剂;再将上述粉体与有机溶剂和混料球一起球磨,三者质量比=111~121,所得浆体放入烘箱低温烘烤至有机溶剂挥发完毕,然后研磨、过开口筛获得混合粉末;该混合粉末经模具中冷等静压成型后,采用无压烧结的方式将坯体在空气气氛下烧结,升温速率为0.5~5℃/分钟,烧结温度120...
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