技术编号:1900475
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种基板加工装置,其具备有可缩短在基板反转后至载置于下一步骤的平台的作业时间的吸附反转装置。该基板加工装置(A),具备有在基板(W)的表面形成刻划线的刻划装置(B)、以及具有吸附经刻划的基板(W)并使其反转且往下一步骤的承接部移载的吸附部(14)的吸附反转装置(C);吸附反转装置(C)的吸附部(14),形成为具有以旋转轴(13)为基端而从轴心往正交的方向延伸设置的多个栉齿部(14a)的栉状;承接部,以隔着间隔平行配置的多个承受构件(24)而形...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。