技术编号:1901337
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种大口径石英管退火方法,将大口径石英管放置在退火炉内,将退火炉内的温度以15~25℃/分钟的速度匀速升温至300℃、600℃、900℃,每个温度段保温50-60分钟,最后升温至1150℃时,保温10~20分钟,待自然冷却至200℃以下时,出炉,完成退火工艺,整个工艺采用适用大口径石英管的退火炉。本发明通过对退火炉的石英管进行逐级升温,保证了石英管的热稳定性;通过在炉腔的侧壁上设进料口和升降炉门,方便放置大口径石英管;通过设旋转臂和配重块,方便升降炉门的顺...
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