用于弱图案量化的方法及系统与流程技术资料下载

技术编号:19022218

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本申请案根据35 U.S.C.§119(e)规定主张于2016年12月21日申请的以安德鲁·克罗斯(Andrew Cross)及艾伦·帕克(Allen Park)为发明者的标题为通过图像过程及比较进行结构量化(STRUCTURE QUANTIFICATION THROUGH IMAGE PROCESS AND COMPARISION)的序列号为62/437,585的美国临时申请案的权利,所述申请案的全文以引用的方式并入本文中。技术领域本发明大体上涉及样本检验及半导体晶片上的失效图案的识别,且更特...
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